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气氛类型 |
典型气体 |
主要作用 |
适用材料 |
|---|---|---|---|
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惰性气氛 |
氮气(N₂)、氩气(Ar) |
防止氧化,稳定烧结环境 |
Si₃N₄、SiC、硬质合金(WC-Co)、金属间化合物 |
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还原性气氛 |
氢气(H₂)、分解氨(NH₃) |
去除氧化物,促进还原反应 |
W、Mo、Ta、氧化物陶瓷(如Al₂O₃脱碳) |
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真空烧结 |
<10⁻³ Pa(高真空) |
抑制氧化,促进蒸发-凝聚烧结 |
钨(W)、钼(Mo)、钛(Ti)、贵金属(如Pt) |
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活性气氛 |
氮气+碳(如N₂+C)、甲烷(CH₄) |
引入活性元素(如氮、碳),促进氮化/碳化反应 |
Si₃N₄、TiN、SiC增强复合材料 |
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