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在SPS烧结炉过程中,脉冲电流对粉末表面氧化膜的“破碎”或去除,并非单一机制作用,而是局部超高温度场、放电等离子体物理轰击、脉冲电动力以及轴向压力协同作用的结果。这一过程主要发生在烧结初期,颗粒间的微小间隙(接触电阻较大)处。
加热启动时,当温度低于200℃时,请选择手动加热。在控制面板的手动操作菜单中,注意在首次使用时,上下移动旋钮一次,然后将其移动到手动位置以开始加热。输入约50以确认。
热压烧结炉根据设备平面布置图将设备就位,连接所有真空管道和阀门,注意机械泵应与地面固定或在四角用阻尼橡胶板垫好,并检查所有附件是否与装运清单一致。
真空热压烧结炉正常运行时,冷却水温度应控制在15℃至25℃之间。当冷却水温度超过25℃但低于30℃时,出水温度也会升高。为了确保硅片出口温度不超过40℃,此时必须增加冷却水的流量。当温度超过30℃时,必须立即通知上一工序,停止硅片流入烧结炉。
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